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Filme weniger Nanometer Dicke aus Chrom und Aluminium§wurden im Ultrahochvakuum auf einer§(100)-Diamantoberfläche hergestellt. Während des§Wachstums wurde ihre dynamische Leitfähigkeit in-situ§im infraroten (IR) Spektralbereich gemessen. Um ein§Verständnis der die Leitfähigkeit bestimmenden§Prozesse zu erlangen, wurden die gemessenen Spektren§mit Hilfe des Drude- und des Drude-Smith-Modells§interpretiert.§Für Aluminium wurde Vollmer-Weber-Wachstum§beobachtet. Es konnte gezeigt werden, dass die§mittlere Filmdicke am Perkolationsübergang§erwartungsgemäß stark von der Substrattemperatur §abhängt.§Das Verhalten der Chrom-Filme muss als ungewöhnlich§bezeichnet werden: Unterhalb einer kritischen Dicke§von etwa 2,5nm können die IR-Spektren nicht mit dem§Drude-Modell beschrieben werden. Aus den Messungen§bei verschiedenen Substrattemperaturen kann aber§sowohl ein amorphes Wachstum, als auch§Vollmer-Weber-Wachstum ausgeschlossen werden. Als§ursächlich wird ein aus der Literatur bekannter§Phasenübergang von fcc- zu bcc-Chrom angenommen. Die§IR-Spektren der nanokristallinen fcc-Phase können mit§dem Drude-Smith-Modell beschrieben werden.