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Mikrostrukturierung am Femtosekundenlaser
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132 b
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Im Rahmen der Arbeit werden auf durchgeführte Strukturierungsversuche an dielektrischen Materialien an der Femtosekundenlaseranlage FS-150-10 näher eingegangen. Es wurden für dieses Themengebiet in der Praxis relevante Materialien wie Quarzglas, Aluminiumoxid, Calciumfluorid und Polytetrafluorethylen ausgewählt. Ziel war neben der Ermittlung der Abtragsparameter die Optimierung von verschiedenen Strukturqualitäten der einzelnen Materialien. Hierfür wurden Teststrukturen erzeugt, die hinsichtlich ihrer Oberflächenqualitäten und Rauhigkeiten am Strukturgrund sowie Debris untersucht und ausgewertet wurden. Zum Schluss erfolgte die Realisierung von Demonstratorstrukturen in die verschiedenen Materialen.
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