Vzaimodeystvie nekotorykh primesey pri poluchenii monokristallov kremniya

Razvitie mikroelektroniki i poluprovodnikovogo priborostroeniya nevozmozhno otdelit' ot resheniya problemy uluchsheniya kachestva poluprovodnikovykh materialov. Sovremennaya tekhnologiya poluprovodnikov pozvolyaet poluchat' monokristally, v kotorykh polnost'yu otsutstvuet narushenie struktury: dislokatsii, malouglovye i dvoynikovye granitsy, vklyuchenie vtoroy fazy. No v kristalle vsegda imeyutsya defekty, lokalizovannye v predelakh elementarnoy yacheyki kristallicheskoy reshetki. Prisutstvie tochechnykh defektov termodinamicheski neizbezhno i v bol'shinstve prakticheski vazhnykh sluchaev neobkhodimy, t.k. atomy legiruyushchikh primesey igrayut vazhneyshuyu rol' v formirovanii svoystv poluprovodnika. Seychas uzhe ochevidno, chto pravil'noe ponimanie protsessov, protekayushchikh v poluprovodnike pri legirovanii, teoreticheskoe predskazanie rezul'tatov legirovaniya, a takzhe prakticheskaya realizatsiya metodov polucheniya materialov s zadannymi svoystvami nevozmozhny bez ucheta vzaimodeystviya primesey. Kniga budet polezna nauchnym rabotnikam pri razrabotke poluprovodnikovykh materialov i struktur, magistrantam i studentam pri izuchenii protsessov legirovaniya.